Le Duché de Chevreuse est érigé en 1545 à partir de la Baronnie de Chevreuse et des Châtellenies, Terres et Seigneuries de Meudon, Angervilliers, Limours, Bures, Beynes, Grignon, Saint-Aubin et dépendances.
En 1564, les Terres, Fiefs et Domaines de Dampierre, Beaurain et Maurepas sont unis au Duché de Chevreuse.
En 1627, le Duché de Chevreuse devient le Duché-Pairie de Chevreuse, sans changement de territoire.
En 1647, la Châtellenie de Châteaufort est unie au Duché-Pairie de Chevreuse.
La Pairie est éteinte en 1655 par la vente du Duché.
En 1692, le Duché de Chevreuse est transféré sur la Ville, le Comté et le Domaine de Montfort-l'Amaury.